根据《中华人民共和国环境影响评价法》《建设项目环境保护管理条例》《环境影响评价公众参与办法》等法律法规规定,新一代高性能化合物半导体外延片智能制造与产能提升项目应进行环境影响评价,现将本项目及环境影响评价工作有关信息公示如下:
一、项目概况及规模
项目名称:新一代高性能化合物半导体外延片智能制造与产能提升项目
建设地点:陕西省西安市高新区五星街办广丰路893号
项目性质:技改及其他
总 投 资:23000万元
建设内容:项目拟购置硬件设备30台,包含MOCVD、Scrubber、高温炉等国际先进水平的工艺设备,同步部署以ERP、MES为核心的智能生产管理系统,用于产线升级和智能化改造,提升外延片制造高端化水平,达产年可新增高性能化合物半导体外延片产能50000片。
本项目现有工程为1条半导体外延片生产线,配套6台MOCVD外延生产设备及其公辅、环保设施,设计年产量达到9.7万PCS的化合物半导体外延片。外延片生产废气经外延炉自带“微粒过滤器”过滤、高温炉废气经岩棉吸附过滤,汇合通过“Scrubber尾气处理系统”(“Scrubber尾气处理系统”共3套,MOCVD共6台,3台MOCVD 使用一套尾气处理系统,2台高温炉用一套尾气处理系统)+酸喷淋吸收塔处理,通过1根22m 高排气筒达标排放。检测试验废气经“碱液喷淋洗涤塔”处理后通过1根22m 高排气筒达标排放。天然气锅炉设置低氮燃烧,燃烧废气通过1根20m高排气筒排放。生产废水经厂区污水处理站处理达标后排至市政污水管网,少量生活污水经厂区化粪池预处理后排至市政污水管网,循环冷却系统排水、纯水制备系统浓水、锅炉排水,排至市政污水管网。危险废物委托有资质的公司处置。现有工程已通过竣工环境保护验收。
二、建设单位联系方式
建设单位:西安唐晶量子科技有限公司
通讯地址:陕西省西安市高新区上林苑一路15号B栋一层B-104
联 系 人:段兆强 电 话:18893478987
三、承担评价工作的环境影响评价机构的名称和联系方式
环评单位:陕西省现代建筑设计研究院有限公司
通讯地址:陕西省西安市浐灞国际港兴泰七街168号
联 系 人:黄 倩 电 话:13759636240
邮 箱:1012929931@qq.com
四、公众意见表的网络链接
链接: https://pan.baidu.com/s/17xleM8nAGSWYc5f6CUMc6g?pwd=k3cs
提取码: k3cs
五、提交公众意见表的方式和途径
在环境影响报告书征求意见稿编制过程中,公众均可向建设单位提出与环境影响评价相关的意见。公众可通过传真、信函、电子邮件返回建设项目环境影响评价公众意见表或者电话、面谈等方式,向建设单位或环评单位发表自己对该项目建设及环评工作的意见和看法。
西安唐晶量子科技有限公司
2025年9月16日